| Stage Quick Checker (퍼펙트글라스) |
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퍼펙트글라스 구성 |
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◼ Perfect Glass란?
퍼펙트글라스란 Master Glass를 이용한 2차원 Master Glass를 이용한 2차원 Stage의 조립정밀도를 측정하는 새로운 기법입니다. 바둑판 모양으로 배치되어 있는 Master Glass Spot들의 오차값을 카메라로 측정하여, 2차원 Stage의 조립정밀도를 분석하는 측정 솔루션입니다.
측정과 관련된 모든 업무는 Perfect Glass에게 맡기시고, 마음 편히 Stage 제작에 집중하시길 바랍니다! 간편하고 빠른 측정 및 분석을 통해 업무를 효율적으로, 그리고 효과적으로 해결하고 싶으시다면 Perfect Glass와 함께 하는 업무를 경험해보세요.
 
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Master Glass를 좌표들의 오차값들을 측정하여 2차원 Stage의 조립정밀도를 분석하는 측정솔루션입니다. 바둑판 모양으로 배치되어 있는 Master Glass Spot들의 오차값을 카메라로 측정하여, 2차원 Stage의 조립정밀도를 분석합니다. 추가로 보정데이터의 생성 등의 기능을 가지고 있습니다.
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| 퍼펙트글라스, 획기적인 측정 방법 |
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퍼펙트글라스, 획기적인 측정 방법 |
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◼ 탁월한 측정 속도
X-Y 스테이지의 조립정밀도를 1~2시간 만에 측정할 수 있습니다.
◼ 사용 편의성
복잡한 과정 필요없이 카메라에서 조명까지 케이블 연결만 하면 끝!
XY스테이지만 움직이면 자동으로 측정됩니다.
◼ 파워풀한 분석 그래프 제공
1~2시간 측정으로 2~3일 측정한 듯한 분석그래프를 제공합니다.
아래의 총 18개의 분석그래프를 한 화면에서 볼 수 있는 막강한 분석 툴을 제공합니다.
- 2차원 분석그래프 6종류
- X축 분석그래프 6종류
- X축 분석그래프 6종류
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◼ 다양한 사이즈의 고품질 마스터글라스
 
3um 이하의 Accuracy와 검사성적서를 통한 보정 적용으로 보다 정밀한 측정데이터를 확보할 수 있습니다. 소형글라스에서에서 대면적글라스까지 다양한 사이즈의 마스터글라스를 제공합니다.
◼ 편한 휴대성
  
카메라와 렌즈 그리고 조명, 노트북까지 휴대용 케이스 하나로 가볍게 휴대하실 수 있습니다.
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| 정밀 제작된 마스터글라스 |
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정밀 제작된 마스터글라스 |
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마스터 글라스는 매우 정밀하게 제작되어 있으며, 오차값에 대한 엑셀 파일이 제공됩니다. 여러 가지 사이즈로 공급되어 필요한 사이즈로 주문 가능합니다.
◼ 마스터글라스 구조
Target 1: Dot size 1mm (Perfect Glass 소프트웨어에서 디폴트로 사용)
Target 2: Dot size 0.1mm
Target 3: Cross-hair, 0.8mm with 0.02mm width
◼ 마스터글라스 재질
- 표준형 Soda-lime Glass: 열팽창계수 약 8.6 ppm
- 고급형 Quartz Glass (Fused-Silica): 열팽창계수 약 0.055 ppm
◼ 마스터글라스 모델명 확인 방법
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◼ 마스터글라스 스펙 (참고 표준 사이즈: Soda Lime Glass)
| 모델명 |
Glass Size |
두께 (mm) |
중량 (kg) |
Dot 간격 |
| (패턴 Size) |
| MG-1818-3t-1515-5-SL |
178*178 mm |
3 |
0.3 |
5 |
| (150*150 mm) |
| MG-2323-3t-2020-5-SL |
230*230 mm |
3 |
0.7 |
5 |
| (200*200 mm) |
| MG-3636-3t-3232-10-SL |
355*355 mm |
3 |
1.0 |
10 |
| (320*320 mm) |
| MG-5242-4.8t-5040-10-SL |
520*420 mm |
4.8 |
2.7 |
10 |
| (500*400 mm) |
| MG-6151-4.8t-5646-10-SL |
609*508 mm |
4.8 |
3.7 |
10 |
| (560*460 mm) |
| MG-6161-4.8t-5656-10-SL |
609*609 mm |
4.8 |
4.5 |
10 |
| (560*560 mm) |
| MG-7161-4.8t-5756-10-SL |
711*609 mm |
4.8 |
5.2 |
10 |
| (670*560 mm) |
| MG-8161-4.8t-6756-10-SL |
812*609 mm |
4.8 |
6.0 |
10 |
| (670*560 mm) |
| MG-8070-4.8t-7666-10-SL |
800*700 mm |
4.8 |
6.7 |
10 |
| (760*660 mm) |
| MG-8070-7.8t-7666-10-SL |
800*700 mm |
7.8 |
10.9 |
10 |
| (760*660 mm) |
| MG-9680-4.8t-9276-20-SL |
960*700 mm |
4.8 |
9.2 |
20 |
| (920*760 mm) |
| MG-10981-7.8t-10476-20-SL |
1092*813 mm |
7.8 |
17.4 |
20 |
| (1040*760 mm) |
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| 퍼펙트 글라스를 완성하는 소프트웨어 |
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퍼펙트 글라스를 완성하는 소프트웨어 |
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측정용 소프트웨어과 분석용 소프트웨어 두 가지로 공급되며, 소프트웨어를 활용하여 조립 정밀도를 측정 및 평가할 수 있습니다.
◼ 측정용 프로그램
 
2차원 Stage의 구동을 감지하여, Master Glass에 새겨진 원의 중심점의 좌표 오차값을 측정하고 데이터로 저장하는 프로그램입니다. 프로그램과 카메라를 연결하여 별도의 하드웨어 없이 자동측정을 실행할 수 있으며, 자동적으로 오차값을 획득 및 저장합니다.
Circle Target과 특별한 알고리즘을 적용하여 0.1um의 분해능을 확보할 수 있습니다.
◼ 다양한 측정 프로그램
| 표준 측정 |
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- 아래의 그리드측정과 테두리반복 측정을 동시에 실행합니다.
- 통상적으로 측정방법이 복잡해지므로 두 측정을 실행 후 데이터를 병합하는 것을 추천합니다. |
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| 그리드 측정 |
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- 사각형의 작업영역에서 바둑판 모양의 교차점들의 좌표점을 측정합니다.
- 실제 2차원 가공 오차의 패턴 예측이 쉬운 방법입니다 |
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| 테두리반복 측정 |
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- 사각형의 작업영역에서 네 개의 테두리를 왕복 반복 측정합니다.
- 반복 정밀도 등의 조립정밀도 분석이 쉬운 방법입니다. |
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| 직각도 측정 |
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- X축 위의 두 점 이상과 Y축 위의 두 점 이상을 측정합니다.
- 스테이지의 직각도를 조정할 때 편리한 방법입니다. |
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◼ 추가 기능
각종 맵핑데이터 생성
1. 2차원 보정데이터: 고급 콘트롤러에서 제공하는 2차원 맵핑 기능에서 활용할 수 있는 2차원 보정데이터를 만들어 줍니다.
2. Accuracy 보정데이터: 1차원 맵핑데이터를 만들어 줍니다.
3. 진직도 보정데이터: X축의 움직임에 대한 Y축 보정값을 만들어 줍니다,
4. Yaw 보정데이터 생성: 직선축 이동에 대한 각도축 보정값을 만들어 줍니다.
스티칭 기법 탑재
작은 사이즈의 마스터글라스로 넓은 영역을 여러 번 측정해서 측정데이터를 이어 붙이는 기능이 탑재되어 있습니다.
비교적 작은 마스터글라스로 대형 X-Y스테이지 측정 분석이 가능합니다.
◼ 구성품
- 카메라: 소프트웨어와 호환되는 카메라가 기본으로 제공되며 USB3.0 호환 컴퓨터에서 작동됨
- 렌즈: 2배 확대 렌즈를 기본으로 사용
- 동축 조명: 조명 밝기를 조정할 수 있는 콘트롤러가 내장된 동축조명
- 조명용 배터리: 조명을 켜기 위한 배터리
- 배터리 충전용 케이블: 일반 USB 충전 장치로 충전이 가능함
- 카메라 설치용 브라켓: 90° 또는 180°로 변환이 가능한 브라켓으로 포터블로 측정하는 것을 도움
- 노트북: 측정용 소프트웨어가 내장된 노트북으로 시스템 케이스에 보관 가능
- 시스템 케이스: 노트북을 포함한 구성품(마스터글라스 제외)을 담을 수 있는 케이스
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| 퍼펙트 글라스를 완성하는 소프트웨어 |
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퍼펙트 글라스를 완성하는 소프트웨어 |
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◼ 분석용 프로그램 (특허기술 적용)
SQC-Viewer는 측정용 프로그램에서 획득한 오차값들을 기반으로 하여 X-Y 스테이지의 조립정밀도를 세 가지 방법(이차원분석, X축분석, Y축분석)으로 분석하는 프로그램입니다. 오차보정 데이터 생성 기능과 측정 데이터 병합 기능을 갖추고 있습니다.
◼ 분석용 프로그램 그래프 구성
(1) 전체 분석 그래프
첫 화면에서는 이차원 분석 데이터 6가지, X축 분석 데이터 6가지, Y축 분석 데이터 6가지로 총 18가지의 분석 그래프를 한 화면에서 표시하여 전체적인 분석을 할 수 있도록 도와줍니다.
화면 오른쪽에서 기능 버튼을 선택하면 세부적으로 분석할 수 있습니다.
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(2) 2차원 분석 그래프
이차원 스테이지에서 실제 가공 또는 측정 시에 나타나는 오차의 패턴을 시각화해서 보여주고 분석하는 그래프입니다. 사진과 같이 6가지의 패턴을 분석할 수 있습니다.
| 2D-1 |
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2차원 Accuracy
등간격으로 배치된 점들의 위치정밀도를 측정한 그래프 |
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| 2D-2 |
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2차원 Accuracy (오차 증폭된)
2D-1의 그래프에서 오차값을 증폭시켜서 실제 가공 또는 측정 시 오차의 패턴을 시각화해서 분석을 쉽게 도와주는 그래프 |
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| 2D-3 |
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2차원 Accuracy (오차 증폭된, X축으로 회전된)
2D-2의 그래프에서 X축 방향으로 회전시켜 직각도 등을 분석하는 데 도움이 되는 그래프 |
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| 2D-4 |
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2차원 Accuracy (오차 증폭된, Y축으로 회전된)
2D-2의 그래프에서 Y축 방향으로 회전시켜 직각도 등을 분석하는 데 도움이 되는 그래프 |
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| 2D-5 |
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2차원 Accuracy (Scale 보정 후, 미래예측)
2D-1의 그래프에서 X축과 Y축 방향으로 비율을 조정했을 때를 예측해 보는 그래프 |
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| 2D-6 |
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2차원 Accuracy (Scale 보정 후, 오차 증폭된, 미래예측)
2D-2의 그래프에서 X축과 Y축 방향으로 비율을 조정했을 때를 예측해 보는 그래프 |
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| 퍼펙트 글라스를 완성하는 소프트웨어 |
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퍼펙트 글라스를 완성하는 소프트웨어 |
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(3) X축 분석 그래프
측정용 프로그램에서 획득한 오차값들을 기반으로 바닥축(또는 1층축)의 조립정밀도를 분석하는 그래프입니다. 사진과 같이 6가지의 패턴을 분석할 수 있습니다.
| X-1 |
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X축 Accuracy: 바닥축 또는 1층축의 Accuracy
파란색: Y=0에서의 X축의 Accuracy, 빨간색: Y=max 에서의 X축의 Accuracy |
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| X-2 |
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X축 Accuracy (Scale 보정된): X-1 그래프에서 기울기 에러를 없앤 그래프
파란색: Y=0에서의 X축의 Accuracy, 빨간색: Y=max 에서의 X축의 Accuracy |
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| X-3 |
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X축 진직도 그래프
파란색: Y=0에서의 X축의 좌우진직도, 빨간색: Y=max에서의 X축의 좌우진직도, 초록색: Y=max/2에서의 X축의 좌우진직도 |
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| X-4 |
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X축 Yawing Error 그래프
Yawing Error는 X축 테이블의 자세변화를 측정한 값 |
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| X-5 |
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X축 직각도 변화: 바닥축의 Yawing Error에 의한 X-Y축 사이의 직각도 변화량
* Max - Min = 직각도 변화량, ( Max - Min ) / 2 = 직각도 조정 필요값 |
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| X-6 |
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X축 Yaw 변동값
Yawing Error의 변화가 어떤 패턴으로 나타날 것인지를 시각화한 그래프 |
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(4) Y축 분석 그래프
측정용 프로그램에서 획득한 오차값들을 기반으로 크로스축 또는 2층축의 조립정밀도를 분석하는 그래프입니다. 사진과 같이 6가지의 패턴을 분석할 수 있습니다.
| Y-1 |
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Y축 Accuracy: 크로스축 또는 2층축의 Accuracy
파란색: X=0에서의 Y축의 Accuracy, 빨간색: X=max 에서의 Y축의 Accuracy |
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| Y-2 |
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Y축 Accuracy(Scale 보정된): Y-1 그래프에서 기울기 에러를 없앤 그래프
파란색: X=0에서의 Y축의 Accuracy, 빨간색: X=max 에서의 Y축의 Accurac |
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| Y-3 |
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Y축 진직도 그래프
파란색: X=0에서의 Y축의 좌우진직도, 빨간색: X=max에서의 Y축의 좌우진직도, 초록색: X=max/2에서의 Y축의 좌우진직도 |
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| Y-4 |
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Y축 Yawing Error 그래프
Yawing Error는 Y축 테이블의 자세변화를 측정한 값 |
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| Y-5 |
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Y축 직각도 변화: 크로스축(또는 2층축)의 Yawing Error에 의한 X-Y축 사이의 직각도 변화량
* Max - Min = 직각도 변화량, ( Max - Min ) / 2 = 직각도 조정 필요값 |
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| Y-6 |
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Y축 Yaw 변동값
Yawing Error의 변화가 어떤 패턴으로 나타날 것인지를 시각화한 그래프 |
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| 퍼펙트 글라스를 완성하는 소프트웨어 |
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추가 측정 기능 |
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(5) 오차 보정 기능
오차 보정 데이터를 생성하는 기능입니다.
- 2차원 보정 데이터 생성
- Accuracy 보정 데이터 생성
- 진직도 보정 데이터 생성
- Yawing 보정 데이터 생성
(6) 측정 데이터 병합 기능
- 그리드 측정 데이터와 테두리 반복 측정 데이터를 병합하는 기능
- 넓은 Stage를 작은 마스터글라스로 여러 번 측정하여 데이터를 이어 붙이는 기능
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◼ 직각도 측정
메인 메뉴에서 "직각도 측정"을 선택하여 측정합니다.
직각도 표시값은 예각 방향은 ⊝값으로, 둔각 방향은 ⊕값으로 표시됩니다.
"활용방법: 직각도 측정 → 직각도 조정(기구적인 조정) → 직각도 재조정 순서로 반복하여 정밀도를 개선할 수 있습니다."
이것만은 알고 갑시다!
스테이지의 측정 목적은 맵핑 전과 맵핑 후로 나누어질 수 있습니다.
- 맵핑 전 측정: 스테이지의 기구적인 조립정밀도 평가가 목적입니다.
- 맵핑 후 측정: 스테이지의 맵핑 후 정밀도 개선 효과의 평가가 목적입니다.
주의사항
라인스캔 장비, 멀티헤드 장비, 갈바노미러 장착 장비 등에서는 측정결과와 장비성능이 다르게 나타날 수 있으므로 주의해야 합니다. 맵핑 전 측정 결과가 좋을수록, 즉 기구적인 조립정밀도가 좋을수록 측정결과와 장비성능의 차이가 작게 나타나게 됩니다. |
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