SIOS
| 길이 측정 / 길이 및 각도 측정 시스템 |
진동 측정 | Gauging Probe / 나노포지셔닝 |
안정화 HeNe 레이저 / 안압계 테스터/ 정밀 환경 측정 장치 |
소프트웨어 |
길이 측정 시스템 - 모듈식 레이저 간섭계
| SP 5000NG (레이저 간섭계) |
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SP 15000NG (장거리 레이저 간섭계) |
SP 5000DI (차동 레이저 간섭계) |
SP 5000DI/F (피드백용 차동레이저 간섭계) |
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| - 거리 측정범위: 최대 5m - 거리 분해능 : 5pm |
- 거리 측정범위: ≤ 80m - 거리 분해능 : 5pm |
- 거리 측정범위: PMI 2m, RRI 5m - 거리 분해능 : 5pm - 각도 측정범위: PMI ±1.5', RRI ±12.5° - 각도 분해능 : 0.001" |
- 거리 측정범위: PMI 2m, RRI 5m - 거리 분해능 : 5pm - 각도 측정범위: PMI ±1.5', RRI 15° - 각도 분해능 : 0.001" |
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| 길이 및 각도 측정 시스템 - 멀티빔 레이저 간섭계 | ||||||
| SP 5000DS (이중 빔 레이저 간섭계) |
SP 5000TR (3중 빔 레이저 간섭계) |
SP 15000C3 (교정 레이저 간섭계) |
SP 15000C5 (교정 레이저 간섭계) |
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| - 거리 측정범위: 최대 5m - 거리 분해능 : 20pm - 각도 측정범위: PMI ±1.5', RRI ±12.5° - 각도 분해능 : 0.002" |
- 거리 측정범위: 최대 5m - 거리 분해능 : 20pm - 각도 측정범위: PMI ±1.5', RRI ±12.5° - 각도 분해능 : 0.002" |
- 거리 측정범위: 최대 50m - 거리 분해능 : < 0.1nm - 각도 측정범위: ±5° - 각도 분해능 : 0.0004" |
- 거리 측정범위 : 최대 50m - 거리 분해능 : 0.1nm - 각도 측정범위 : ±5° - 각도 분해능 : 0.0004" - 진직도 측정범위: ±4mm over 6.5m - 진직도 분해능 : 10nm |
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