* 발표자료 영상에서도 확인하실 수 있는 영상입니다.

1. 석정반

- 단면: 450x350mm 중실 구조
- 3,840mm 11개로 구성
   → 480kg/m, 2.2ton/ea, 총 24ton
- Flatness 목표 40um / 40m
- 좌우진직도 목표 40um / 40m
- Modular 설계 구현

2. Leveling Foot

- 초정밀 Leveling Foot 장착
- 석정반 1개당 Leveling Foot 5ea (ex. 석정반 11개 → 총 55ea Foot 설치)
- Main(4ea): 베셀점(Bessel Point) 고려
- Sub(1ea): Center Point에 위치
- Flatness 40um / 40m 목표 달성

1. LM 조립공법

- 석정반의 좌우 진직도 확보 (±0.2mm 이하 / 40m)
- 640mm 간격으로 거점 진직도 확보
- 퍼펙트 LM 레이저 조립법 (특허)
   → 8x80=640mm: 반분 조립법 실시
- 좌우진직도 40um / 40m 목표 달성
   → 퍼펙트 LM 레이저 조립법 검증 완료
   → 40m를 부드럽게 구동 실현

2. LM가이드

- 진직도 확보를 위한 THK-SSR30_P급 2열 4블록 중예압
- 석정반 탭 진직도 공차 발생 대비 M8볼트 취부
- Pitch 80mm 적용
   → LM 레일 볼트 수: 약 1050개
- 연결부위 Pitch 80mm로 유지
   → 2열 연결부위 같은 선상에 두지 말 것

1. 타이밍벨트

- 타이밍 벨트 구동방식 → 적정속도 유지
- 리니어스케일 피드백으로 정밀도 향상
   → 40m 일체형 리니어스케일 필요

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1. 무선 구동 System

- DC48V 배터리 장착을 통한 무선방식구현
- Servo Motor 구동으로 정밀위치제어
- 40m Stroke → 無 케이블베이어 구조
- Master - Slave PC간 무선제어 실현
   → 40m 측정영역에서 하나의 Wifi-Zone 구성
- Moving Slave PC가 완벽한 서보 제어 구현

2. Operater Desk 구성

- Master PC 구동
- Slave PC 원격 구동
- Main Camera: 줄자 눈금 촬영
- Sub Camera: 레이저 과녁 관찰

3. Moving Table의 구성

- Slave PC 탑재
- DC Servo Motor - 정밀 위치제어
- Main Camera: 줄자 눈금 촬영
- Sub Camera: 레이저 과녁 관찰

1. Dual 측정기 적용

- Laser Interferometer 탑재
   → Renishaw XL80 장착
- Linear Scale 탑재
   → 40m 일체형 (캐리어 삽입형, 위치오차 맵핑기능)

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1. 기류 차폐 장치

- Laser가 난기류에 흔들리는 현상 배제 → 레이저 안정성 확보
- 레이저 측정 시 정밀도 확보
   → Laser 파장의 온도변화 저감
- 전동식 개폐장치 부착
   → Limit 센서 장착: 자동정지 및 자동 off

2. 자동화

- 측정 대상물 레시피 저장 가능
- 측정 시간 획기적으로 단축