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(나노포지셔닝 플랫폼)
- 두께 측정범위: 20mm, 50mm
- 두께 분해능 : 0.1nm
- 거리 측정범위: 0.5~100mm
- 거리 분해능 : 1nm
- 거리 측정범위: 25mm × 25mm × 5mm
- 거리 분해능 : 0.1nm
- 거리 측정범위: ≈ 100mm
- 거리 분해능 : ≤ 0.02nm