SIOS

길이 측정 /
길이 및 각도 측정 시스템
진동 측정 Gauging Probe /
나노포지셔닝
안정화 HeNe 레이저 /
안압계 테스터/
정밀 환
경 측정 장치
소프트웨어

 

Gauging Probes / 나노포지셔닝

LM 20/50
(고선형 프로브)
  EPP
(Gauge Block 교정 시스템)
  NMM-1
(나노 포지셔닝 및 나노 측정기)
  NPP-1
(나노포지셔닝 플랫폼)

- 두께 측정범위: 20mm, 50mm
- 두께 분해능   : 0.1nm
 
- 거리 측정범위: 0.5~100mm
- 거리 분해능   : 1nm
- 거리 측정범위: 25mm × 25mm × 5mm
- 거리 분해능   : 0.1nm
- 거리 측정범위: ≈ 100mm
- 거리 분해능   : ≤ 0.02nm