SIOS Laser Application Guide |
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매뉴얼
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기구
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Soft
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Feed-back Laser Scale
(RRI Method) |
1. |
MI-5000 |
1축 변위 |
5m |
800 |
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2. |
MI-2-5000 |
2축 변위 |
5m |
800 |
|||||
Feed-back Laser Scale
(PMI Method) |
1. |
SP-2000 |
1축 변위 |
2m |
800 |
||||
2. |
SP-2-2000 |
2축 변위 |
2m |
800 |
|||||
3. |
SP-LR |
|
1축 변위 |
~80m |
800 |
||||
4. |
SP-2000-DS |
1축(변위+YAW) |
2m |
800 |
|||||
5. |
SP-15000-DS |
1축(변위+YAW) |
15m |
800 |
|||||
6. |
SP-2000-TR |
1축(변위+YAW+PITCH) |
2m |
800 |
|||||
7. |
SP-15000-TR |
1축(변위+YAW+PITCH) |
15m |
500 |
|||||
8. |
SP-2000-DI |
|
1축(Differential ) |
2m |
800 |
|
|||
9. |
SP-2-2000-DI |
|
2축(Differential ) |
2m |
800 |
|
|||
10. |
SP-2000-DIS |
|
1축(Special) |
2m |
800 |
||||
Laser 진동분석기 (임의면반사형) |
1. |
SP-S |
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1축 고정위치형 |
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2. |
LSV |
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1축 (Zoom Optic부착형) |
~2.5m |
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||||
He-Ne Laser |
1. |
SL 02 |
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2. |
SL 03 |
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3. |
SL 04 |
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Special 측정기 |
1. |
LM series |
Laser-Interferometric Gauging Probe |
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2. |
PT series |
Optical-Interference Testing Rig for Applanation Tonometers |
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3. |
NMM series |
|
울트라 초정밀 삼차원 측정기 |
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4. |
LFS series |
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Laser Focusing Sensor |
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RRI => Retro Reflector Interferometer PMI => Plane mirror Interferometer SIOS사의 Laser System은 기본적으로 Single Path를 이용하므로 환경변화에 덜 민감한 특성을 가집니다. SIOS사의 Laser System은 모든 제품이 Feed-back과 측정을 동시에 수행할 수 있도록 설계되어 있습니다. |
Feed-back용 Laser System Guide
1. SP-SP |
2. SP-DS |
3. SP-TR |
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One-Beam Plane-Mirror Type
공작 기계 길이 측정 시스템 |
Double-Beam Plane-Mirror Type
초정밀 동시 길이 및 각도 측정 |
Triple-Beam Plane- Mirror Type
변위, Pitch, Yaw의 동시 측정 |
4. SP-DI |
5. SP-DIS |
6. Optional Lens |
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Differential Plane-Mirror Type
기준점과 간섭계간의 데드패스를 보상하기 위한 측정점간의 보상측정 |
Differential Plane-Mirror Type
|
For SP, SP-DS and SP-TR
거친 표면에 축 방향 변위 측정 |